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1月26日，中科慧遠(yuǎn)視覺技術(shù)（洛陽）有限公司公布了最新成果，基于自研的仿人缺陷成像技術(shù)和深度學(xué)習(xí)缺陷分析技術(shù)，開發(fā)了大口徑光學(xué)元件缺陷檢測儀，適用于大口徑光學(xué)材料等高反高透超精密光滑表面的缺陷檢測和分析，檢測光學(xué)元件口徑最大可超過米級尺寸。

大口徑光學(xué)元件缺陷檢測儀

隨著超精密加工技術(shù)和精密鍍膜技術(shù)的發(fā)展，包括高精密光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓在內(nèi)的超光滑表面元件的性能指標(biāo)不斷提升，超光滑表面元件的加工和使用都對缺陷檢測提出更高的要求。

大口徑光學(xué)元件缺陷檢測儀，適用于大口徑光學(xué)材料、半導(dǎo)體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測和分析。本系統(tǒng)是一款非接觸式、全自動的檢測儀器，能夠高速檢測待測表面的劃痕、麻點、臟污等特性。

大口徑光學(xué)元件缺陷檢測儀設(shè)備外觀

設(shè)備特點

1、缺陷數(shù)量檢測、缺陷位置測量、缺陷尺寸檢測；

2、亞微米至微米級缺陷；

3、檢測對象最大尺寸超過1米；

4、高檢出率、低漏檢率；

5、全自動操作。

圖像采集分析軟件具有自動變倍、自動調(diào)焦、光強和CCD參數(shù)設(shè)置，具備系統(tǒng)初始化，圖像拼接、顯示、處理、保存、局部放大等功能，能夠?qū)Ρ砻鎿p傷狀況進(jìn)行顯示、分析并保存記錄。

強大的在線檢測系統(tǒng)能夠自動獲取圖像并對其進(jìn)行后處理，獲取損傷的尺寸、位置、分布、變化等信息，可對光學(xué)元件表面的損傷進(jìn)行動態(tài)跟蹤。

自研的“慧腦”深度學(xué)習(xí)平臺，通過對圖像數(shù)據(jù)擴(kuò)增處理，結(jié)合針對缺陷形態(tài)和紋理專門設(shè)計的檢測模型，可以實現(xiàn)對劃傷、異物、凹凸等缺陷的精準(zhǔn)檢測和準(zhǔn)確分類。